对于电镀、化工、实验室产生的少量酸雾或碱雾，传统做法是建大尺寸喷淋塔，但直径往往超过2米。如今已有卧式或方形一体化喷淋塔，将填料层、喷淋层、除雾层及循环水箱集成在一个1-2立方米的小箱体内，可直接壁挂或落地放置。处理风量2000-5000m³/h，高度仅为传统塔的1/2。内部配置高效填料（如鲍尔环），气液接触充分，去除率可达95%以上。

若废气仅含微量VOCs（＜200mg/m³）且以异味为主，可采用抽屉式活性炭箱。该设备将多层活性炭抽屉竖直排列，进风口和出风口在同一侧，厚度仅0.5米，可像文件柜一样靠墙放置。单台处理风量可达5000m³/h，炭层更换方便——抽出旧屉、插入新屉即可，无需大型吊装。为防止饱和炭堆积，可配置两箱并联交替使用。

对于需要高效氧化的小风量（2000-8000m³/h）、中等浓度（1000-3000mg/m³）废气，已有厂家推出微型蓄热氧化炉或一体式催化燃烧装置。设备整体尺寸如双开门冰箱（1.2m×1.0m×2.0m），内置蓄热体或催化剂，采用电加热或燃气加热。现场只需接电、接进出气管，30分钟内即可投运。某汽车零部件厂喷漆废气风量5000m³/h，采用微型RTO后排放低于20mg/m³，占地仅1.5平方米。